非接触式静电计介绍与应用

　　非接触式静电计介绍与应用
 

　　传统非接触式静电测试仪包括电极式、振动电容式、场磨式等。其中，电极式静电仪直接通过电路对单一感应电极上的电荷信号进行放大、AD采样，由于电荷信号容易在电路中衰减，该静电仪零点漂移大，需经常调零，使用不便。振动电容式、场磨式静电仪通过振动或转动调制感应电极上的感应电荷，测量带电体附近的电场强度，反演带电体的静电电压，避免了感应电荷衰减。然而，这些静电测试仪普遍将传感器敏感芯片裸露在外，这些裸露可动单元容易在粉尘等恶劣环境中损坏，也容易因自身摩擦或与外界碰撞产生电火花，造成安全隐患。
 

　　传统非接触式静电测试仪包括电极式、振动电容式、场磨式等。其中，电极式静电仪直接通过电路对单一感应电极上的电荷信号进行放大、AD采样，由于电荷信号容易在电路中衰减，该静电仪零点漂移大，需经常调零，使用不便。振动电容式、场磨式静电仪通过振动或转动调制感应电极上的感应电荷，测量带电体附近的电场强度，反演带电体的静电电压，避免了感应电荷衰减。然而，这些静电测试仪普遍将传感器敏感芯片裸露在外，这些裸露可动单元容易在粉尘等恶劣环境中损坏，也容易因自身摩擦或与外界碰撞产生电火花，造成安全隐患。静电危害是科技和生产活动中的一个重大安全隐患。不同物质间接触、分离后即可产生静电，由于其产生简单、不易发觉，稍有不慎就可能酿成重大事故。
 

　　据统计，美国电子行业部门每年因静电危害造成损失高达100亿美元，英国电子产品每年因静电造成的损失为20亿英镑，日本电子元器件的不合格品中不少于45%的危害是因为静电放电(ESD)造成的。静电放电可能点燃某些易燃物体而发生爆炸。例如，在石油石化领域，人体或设备携带静电容易引燃油品挥发出的气体，油品、粉体在储运过程中与周围容器发生摩擦，也容易产生大量静电。
 

　　在工业生产领域，氢气、乙炔、瓦斯等易燃易爆气体，煤粉、铝粉、面粉等粉尘，都有可能因静电火花引起爆炸。在电子工业领域，一般MOS电路和场效应管击穿电压约为300V，然而在干燥季节人体静电可达数万伏，极易损伤甚至损坏半导体器件，从而导致设备故障。